培育具整合機械、光電、材料、自動化及精密製造等能力之人才。

其研究領域為：

1. 微製造 ( 微加工、矽基加工、奈米加工、薄膜製程等 ) 及微組裝技術。
2. 精密量測、感測、檢測及控制技術。
3. 精密系統整合設計與製造。
4. 精密工程應用技術，如微機電、半導體、醫學、資訊與通訊、精密環境控制、及精密遙測等。

網 址：http://www.ipe.nchu.edu.tw/
教 師：7 名
大學生：
碩士生：75 名
博士生：16 名