以發展奈米、光電、通訊、精密機械及生物科技等基礎工業技術與提昇產業競爭力。

其研究領域為：

1. 材料製程：探討奈米技術、半導體磊晶、微機電及電漿製程等課題。
2. 功能材料：探討奈米材料、能源材料 ( 太陽能、燃料電池 ) 及金屬材料等課題。

網 址：http://www.mse.nchu.edu.tw/
教 師：18 名
大學生：222 名
碩士生：217 名
博士生：132 名